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日立ハイテクの走査電子顕微鏡 SU3800 / SU3900は、操作性と拡張性を両立させました。
数々の操作もオート化し、高性能を効率的に活用することができます。
多目的大型試料室を搭載し、In-Situ解析にも対応しました。
◎特長
①多目的大型試料室を標準搭載し、大型試料の解析に対応
SU3800 ： 最大試料寸法 200mm径、最大搭載可能高さ 80mm
SU3900 ： 最大試料寸法 300mm径、最大搭載可能高さ 130mm
②さまざまな自動機能の強化により、操作性がさらに進化
■オート調整のアルゴリズム改良。待ち時間が１／３以下。(※S-3700N比)
■独自のIntelligent Filament Technology（IFT）を搭載
フィラメントの状態を自動で監視・制御することで、フィラメントの長寿命化を実現。
■複数領域の広域観察を可能にする、Multi Zigzag （オプション）
③解析目的に応じた検出器、ソリューションを用意
■多様な観察ニーズに対応する検出器。
■多目的大型試料室により豊富なアクセサリを搭載可能。
SEM/EDSインテグレーションシステム
3次元モデル表示・計測ウェアHitachi map 3D
画像計測ソフトウェアImage Pro®
