走査電子顕微鏡 「SU3500」

高画質は、さらなる高みへ

2021/09/24

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高画質化によるSEM解析力や操作性の向上を目的に、日立ハイテクのコア・コンピタンスである"匠の技術"を集結。"分解能7 nm@加速電圧3 kV"を実現した電子光学系や、ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*1、さらなる高感度化を実現した「UVD(高感度低真空検出器)」*1などを搭載したSU3500が、観察・分析の新基準をご提案します。
*1:オプション

【特 長】
SU3500走査電子顕微鏡は、革新的な電子光学系および信号検出システムを備えており、高画質観察と高分析性能を提供します。生物試料や先端材料を含む幅広いアプリケーションに向けて、最適なSEM解析を支援します。

●試料最表面の微細形状観察や、試料ダメージの軽減に有効な、低加速電圧観察時の分解能を向上
●速い走査速度でノイズの少ない観察を実現した、新設計の電子光学系と信号処理技術
●従来機比*2で約11秒の時間短縮*3を実現した、高速オート機能
●低真空における試料最表面の形状観察に優れた「UVD(高感度低真空検出器)」*4
●ライブによるステレオSEM像観察を実現した「ライブステレオ観察機能」*4
●安価なメンテナンスコスト、連続通電不要と高い経済性
*2:日立SEM S-3400N比
*3:観察条件により、時間は変動します
*4:オプション

■低加速電圧観察および低真空観察性能
最新のUVD検出器と組み合わせた日立の「Hex-Bias」プローブ電流最適化技術は、低加速電圧および低真空条件下でも優れた表面観察を可能にします。

■ライブステレオ観察機能
傾斜ビームスキャン技術により、SEM像のライブ3D観察が可能になります。

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株式会社日立ハイテク

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