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中型プローブ顕微鏡システム 「AFM5500M」

オペレーターの負担を大幅軽減

2018/04/04

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XY200 µmの広域走査に加えて歪みを抑制したフラットスキャナにより直線性の高い計測を実現する中型SPMです。更にカンチレバーの装着・交換、光軸調整を自動化することで、オペレーターの負担を大幅に軽減しました。また、SEMとSPMで試料の同一場所を簡単に測定できるAFM&SEMリンケージシステムを搭載できます。

【特 長】
■自動化
●自動化による生産性の向上を追求
●オペレータ起因の測定誤差排除を追求

■信頼性
●広域フラットスキャンメカニカル起因の測定誤差排除を追求
従来のSPMに使用されてきたチューブ型ピエゾスキャナは、円弧運動に起因する湾曲データに対して、ソフト補正をかけて平滑化処理を行っていました。
しかし、この補正によっても円弧運動の影響を除去しきれず、データに歪みが残る場合がありました。AFM5500Mは、新開発のフラットスキャナを搭載することで、円弧運動の影響を受けない正確な測定を実現しました。

●高い垂直性
従来のSPMに使用されてきたスキャナは、垂直方向の伸縮動作を行う際、曲り(クロストーク)が生じていました。それは、左右の形状差や映像の歪の原因です。
AFM5500Mでは、新開発された垂直方向にクロストークのないスキャナを搭載することで左右の歪がない正確な測定を実現しました。

■親和性
●他の検査解析手法との親和性を追求
SEM-SPMに共通の座標リンケージホルダにより、同一視野の形状、構造、組成、物性の簡単・迅速な観察・分析を実現しました。

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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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