| 開催日 | 2026年10月23日(金) |
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| 開催地 | Web |
基礎から理解し、実務に活かす測定・解析のポイント
■開催日時：
2026年10月23日（金）10：00～16：00
■開催場所：
Zoomによるオンライン受講
■担当講師：
有限会社テクノ・シナジー 代表取締役 田所 利康 氏
■受講料：
49,500円/1名（税込） 【複数名受講割引あり】
同一企業様から複数名同時にお申し込み頂くと、人数に応じて下記割引が適用されます。
［2名様⇒20％、3名様⇒30％、4名様⇒40％、5名様以上⇒50％ の割引となります］
■講座概要：
分光エリプソメトリーは、スペクトルが持つ豊富な情報量を活かした薄膜の膜厚測定や、膜質・光物性評価が可能で、非接触、高精度、測定が簡便などの利点から、精密な薄膜評価を必要とする様々な分野で広く利用されている。しかし、測定パラメーターの意味が分かりづらいこと、光学モデルを用いた解析が直感的に理解しづらいこと、偏光、干渉、誘電関数といった光学や光物性の基礎知識が必要なことなどから、十分に使いこなすのは容易なことではない。
本講習では、分光エリプソメトリーの基礎から応用、そして測定・解析ノウハウまでをビジュアルに系統立てて解説する。始めに、光物性の基礎である誘電率、屈折率の本質について理解し、分光エリプソメトリーの基礎と原理をステップバイステップで学んでいく。次に、フィッティング解析のデモンストレーションを通して、解析の進め方、光学モデル構築のポイントを実践的に学習する。さらに、多層膜、有効媒質近似、表面ラフネス、光学異方性膜など、より複雑なサンプル系の解析事例から測定・解析ノウハウを学ぶ。
■セミナープログラム（予定）：
１．イントロダクション
1-1 本講習の目的
1-2 薄膜解析と分光エリプソメトリー
1-3 分光エリプソメトリーの特徴と用途
２．物質と光の相互作用
2-1 分極と屈折率
2-2 なぜ分光なのか（分極と分光スペクトル）
2-3 偏光，光の反射，透過，屈折
2-4 薄膜の干渉
３．分光エリプソメトリー
3-1 エリプソメトリーの測定原理
3-2 偏光解析パラメーターの表記法
3-3 単一波長から分光へ
3-4 エリプソメーター
3-5 誘電関数モデルと屈折率スペクトルの関係
3-6 分光エリプソメトリー解析の流れ
４．測定の実際と解析上のポイント
4-1 透明基板上の薄膜解析
4-2 半導体基板上の薄膜解析例
4-3 高度な解析例
５．まとめ
質疑応答
■主な受講対象者：
・分光エリプソメトリーを基礎から学びたい方。
・これから分光エリプソメトリーを始めたいとお考えの方。
・「Cauchyモデルしか使ったことがない」、「膜厚しか求めたことがない」など、現状の測定解析を改善したい方。
・分光エリプソメーターをもっと活用したい方。
■期待される効果：
・分光エリプソメトリーのみならず、光学現象の物理的理解、光物性の知識が習得でき、分光エリプソメトリー解析の全体を鳥瞰図的に理解することができます。
・光学モデルや誘電関数の意味を理解して、エリプソメトリー解析を行えるようになります。
・サンプルに対してより適切な光学モデルを構築できるようになります。
・分光エリプソメトリ―を用いた、薄膜・表面に関する様々な特性・物性の評価・解析ノウハウを習得することができます。
