株式会社堀場製作所

微小部X線分析装置「XGT-9000 Pro」「XGT-9000 Expert」を発売

登録日:2022/10/25

  株式会社堀場製作所は、蛍光X線分析装置の新製品である微小部X線分析装置「XGT-9000 Pro」、「XGT-9000 Expert」の2機種を9月7日に発売し、「XGT-9000」シリーズのラインアップを拡充します。
「XGT-9000」シリーズは、材料中に含まれる元素の種類や量を高精度に分析する微小部X線分析装置です。半導体ウエハの膜厚といった微小部の分析や、食品・化粧品・薬品やリチウムイオン電池などの製造プロセスにおける異物解析などあらゆる材料の品質管理や研究開発に寄与し、はやぶさ2プロジェクトにおける小惑星「リュウグウ」の砂の分析貢献でも知られています。
新モデルは検出器の改良と信号処理を高速化する独自アルゴリズム(特許取得済※3)の採用により、「XGT-9000 Pro」は最大65%※1、「XGT-9000 Expert」は最大50%※1分析時間を削減。
さらに、「XGT-9000 Expert」は卓上型のエネルギー分散型蛍光X線分析装置として世界で初めて※2ホウ素(B)からの軽元素※4分析を実現しました。ホウ素(B)という蛍光X線では検出が非常に難しい元素の分析が可能になったことで、より一般的な炭素(C)、窒素(N)、酸素(O)などの軽元素が高感度に分析でき、従来は複数の装置を用いざるを得なかった酸化物や窒化物、有機物などの分析も1台で完結できます。
これにより、素材メーカーをはじめ幅広い産業の品質管理や研究開発における材料分析の大幅な時間削減、効率化、省スペース化に貢献します。


※1 当社従来製品との比較。使用方法や条件によって効果が異なる場合があります
※2 卓上型のエネルギー分散型蛍光X線分析装置としては世界初 当社調べ 2022年8月時点
※3 日本特許番号:6857174、米国特許番号:10795031、欧州:特許出願済み
※4 軽元素:原子量の小さい元素のこと

詳細は下記のURLをご確認ください

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